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在电子特气生产、纯化、充装等应用领域，气体中微量颗粒污染物直接影响工艺稳定性与终端产品良率，高精度颗粒检测已成为电子特气品质管控的核心必备环节。为满足半导体、显示面板、光伏等高端制造对电子特气颗粒检测的严苛要求，云必科技自主研发推出MUST OP2在线颗粒计数系统针对腐蚀性气体，专为电子特气体系提供精准、稳定、安全的颗粒定量与粒径分级检测，可高效完成气体质量检验、出厂管控、工艺验证与污染溯源，全面匹配电子特气行业对高灵敏度、高可靠性检测设备的核心需求。
适配介质：六氯乙硅烷、四氯化硅、三氯氢硅、硅烷、磷烷、砷烷、三氟化氮、二氧化硫、氟氮混合气、各类含卤激光混合特种腐蚀气体等。
0.1μm高灵敏粒径检测小流量超低耗气量设计1Mpa高压样品直接进样长效稳定光学检测单元
